发布时间：2024-02-23 作者: 新闻资讯
(19)国家知识产权局(12)实用新型专利(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 4.X(22)申请日 2022.03.08(73)专利权人 快克智能配备股份有限公司地址 213164 江苏省常州市武进高新技术产业开发区凤翔路11号(72)发明人 戚国强潘兵刘元杨友志许建磊(74)专利署理组织 常州市英诺创信专利署理事务所(一般合伙) 32258专利署理师 李楠(51)Int.Cl.B23K 1/008 (2006.01)B23K 3/08 (2006.01)B23K 35/38 (2006.01)B23K 101/40 (2006.01) (54)实用新型称号一种线)摘要本实用新型触及半导体芯片焊接技术领域，尤其是一种真空可控气氛共晶炉，包含榜首管线、第二管线及用于供给甲酸气体的甲酸供料组件；第二管线上具有榜首进气口和第二进气口，第二管线的一端具有第二出气口，另一端设置榜首进气口，榜首进气口还经过甲酸供料组件和榜首管线的一端衔接，榜首管线的另一端具有榜首出气口，本实用新型可根据芯片焊接工艺技术要求，给真空共晶炉的密封腔中充入不同工艺气氛，一起将有腐蚀性工艺气体和非腐蚀性工艺气体分别从榜首出口和第二出口通入密封腔，因而，可为榜首管线和第二管线装备不一样的资料的管道，节约本钱，添加惯例运用的寿数。权利要求书1页 说明书6页 附图1页CN 217044944 U2022.07.26CN 217044944 U
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